超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

制定零件加工工艺的主要内容与步骤

(1)确定毛坯的种类。毛坯种类应根据零件的材料、形状、尺寸放工件数量来确定。

(2)确定零件的加工顺序。零件加工顺序应根据尺寸精度、表面粗糙度和热处理等全部技术要求以及毛坯的种类和结构、尺寸来确定。

(3)确定工艺方法及加工余量。即确定每一工序所用的机床、工件装夹方法、加工方法、测量方法及加工尺寸（包括为下道工序所留的加工余量）。

单件小批量生产中、小型零件的加工余量，可按下列数值选用（对内外柱面及平面均指单边余量）。毛坯尺寸大的，取大值；反之，机械零部件加工公司，取小值。

总余量：手工造型铸件约3—6 mm；自由锻件约3.5～7 mm；圆钢料约1.5-2.5 mm。

工序余量：半精车约0.8～1.5 mm；高速精车约0.4～0.5 mm；低速精车约0.1—0.3 mm；磨削约0.15-0.25 mm。

CNC精密机械加工的优势：CNC零件加工的主轴转速和进给量范围比通用车床的范围大，每一道工序都能选用更佳的切削用量，数控车床的结构刚性允许数控车床进行大切削用量的强力切削，从而有效节省了机动时间。数控车床移动部件在定位中均采用加减速控制，并可选用很高的空行程运动速度，机械加工厂缩短了定位和非切削时间。使用带有刀库和自动换刀装置的加工中心时，机械零部件加工厂家，工件往往只需进行一次装夹就可完成所有的加工工序，减少了半成品的周转时间，生产效率非常高。精密零件加工质量稳定，还可减少检验时间。数控车床可比普通车床提高1效率2—3倍，复杂零件的加工，生产率可提高十几倍甚至几十倍。

　CNC零件加工技术是以数控系统为代表的新技术对传统机械制造产业渗透形成的机电一体化产品，所需的加工条件，如进给速度、主轴转速、刀具选择等，都是由指令代码事先规定好的，整个加工过程是自动进行的，人为造成的加工误差很小，机械零部件加工，数控车床而且传动中的间隙及误差还可以由数控系统进行补偿。因此，数控车床的加工精度较高。此外，数控车床能进行重复性的操作，尺寸一致性好，减少了废品率。